GB/T 4298-1984
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法已作废

The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials

GB/T 4298-1984 发布历史

本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。

GB/T 4298-1984由国家质检总局 CN-GB 发布于 1984-03-28，并于 1985-03-01 实施，于 2017-12-15 废止。

GB/T 4298-1984 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法。

GB/T 4298-1984的历代版本如下：

• 1984年03月28日 GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

标准号

GB/T 4298-1984

发布日期

1984年03月28日

实施日期

1985年03月01日

废止日期

2017-12-15

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

29.040.30

发布单位

CN-GB

适用范围

本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。

GB/T 4298-1984系列标准