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指定分离设备的设计、构造、安装、测试和批准的最低要求 ISO14644-8 按化学物浓度(ACC)分类的空气洁净度 2013 涵盖洁净室及其相关受控环境中气态分子污染物(AMC)的分类 ISO14644-9 通过颗粒物浓度对表面清洁度进行分类 2012 通过洁净室及其相关受控环境中的颗粒物浓度确定固体表面洁净度等级的分类 ISO14644-10...
芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。...
所以我们说微电子产品的生产环境控制—洁净技术的应用要求应该是整体的、全面的、既要严格控制空气中微粒尺寸、浓度,也要严格控制芯片加工过程中可能带来沾污的杂质以及影响芯片加工质量的环境参数。近年来许多测试和实践表明,带入洁净室或洁净室产生的污染物还有室外空气中的NOx、SOx、Na+、C1-、超细玻璃纤维制品中的硼和DOP粒子。...
实际上,已经有洁净室的空气流动速度是45cfm/平方英尺。 2. 单向的、紊流的、垂直或水平气流。 花费因素变量:-0.073至0.18 在许多案例中,单向气流只在小空间和洁净室的敏感区域内使用,并且使用微环境。污染物的源头可能存在于手套箱、过滤模块等地方。多数设计为整体单向气流洁净室外的方案,只有在这些区域中没有作业者、生产设备和排风装置时才能实现单向气流。...
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