GB/T 26112-2010
微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则

Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

GBT26112-2010, GB26112-2010


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GB/T 26112-2010

标准号
GB/T 26112-2010
别名
GBT26112-2010
GB26112-2010
发布
2011年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 26112-2010
 
 
引用标准
GB/T 26111
适用范围
本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

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