GB/T 26112-2010
微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
GB/T 26112-2010 中，可能用到以下仪器
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- 标准号
- GB/T 26112-2010
- 发布日期
- 2011年01月10日
- 实施日期
- 2011年10月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- L55
- 国际标准分类号
- 31.200
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 26111
- 适用范围
- 本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
GB/T 26112-2010系列标准
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GB/T 26108-2010 三价铬电镀 技术条件
GB/T 26109-2010 水基防锈液防锈性能试验 多电极电化学法
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GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语
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GB/T 26113-2010(英文版)
GB/T 26112-2010 中可能用到的仪器设备
核磁共振波谱仪
拉曼光谱仪
其它光学测量仪
激光诱导击穿光谱LIBS
激光共聚焦显微镜
分子荧光光谱/荧光分光光度计
ICP-MS
光纤光谱仪
红外光谱仪
太赫兹光谱仪
X射线应力分析仪
光栅光谱仪(单色仪)
近红外光谱仪
扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
透射电镜TEM
生物显微镜
光学仪器组件
扫描电镜SEM
材料/金相显微镜
X射线显微镜
电化学工作站
X荧光光谱/XRF（波长色散型）
磁学测量系统
摩擦磨损试验机
纳米压痕仪、划痕仪
流变仪
硬度计
粘度计
试验机、拉力机、万能试验机
导热仪、热导仪
工业CT
浓缩仪
离心机
生物3D打印机
凝胶/WB/CL成像系统
细胞成像/高内涵成像
流量计/流速仪/测漏仪
条码扫描仪
激光雷达
其他物性分析仪/测定仪
干涉仪
粒子图像测速仪(PIV)