GB/T 26113-2010
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

GBT26113-2010, GB26113-2010

GB/T 26113-2010 发布历史

本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。

GB/T 26113-2010由国家质检总局 CN-GB 发布于 2011-01-10，并于 2011-10-01 实施。

GB/T 26113-2010 在中国标准分类中归属于: L55 微电路综合，在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。

GB/T 26113-2010 发布之时，引用了标准

• GB/T 18779.2 产品几何技术规范(GPS) 工件与测量设备的测量检验 第2部分：GPS测量、测量设备校准和产品验证中的测量不确定度评估指南*， 2023-03-17 更新
• GB/T 26111 微机电系统（MEMS）技术 术语*， 2023-05-23 更新
• GB/T 3505 产品几何技术规范(GPS).表面结构.轮廓法.术语、定义及表面结构参数

* 在 GB/T 26113-2010 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

GB/T 26113-2010的历代版本如下：

• 2011年 GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

标准号

GB/T 26113-2010

别名

GBT26113-2010
GB26113-2010

发布

2011年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 26113-2010

 

 

引用标准

GB/T 18779.2 GB/T 26111 GB/T 3505

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