GB/T 26113-2010
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
GB/T 26113-2010 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 26113-2010
- 发布日期
- 2011年01月10日
- 实施日期
- 2011年10月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- L55
- 国际标准分类号
- 31.200
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 3505 GB/T 18779.2 GB/T 26111
- 适用范围
- 本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
GB/T 26113-2010系列标准
GB/T 26113-2010 中可能用到的仪器设备
扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
色谱自动进样器（多功能）
电子探针X射线微区分析仪(EPMA)
超分辨率显微镜
激光器
体视显微镜/立体显微镜
工业显微镜/工具显微镜
高光谱仪/高光谱成像仪
近红外光谱仪
透射电镜TEM
电化学工作站
光学仪器组件
扫描电镜SEM
光学成像-CCD相机
激光共聚焦显微镜
生物显微镜
拉曼光谱仪
核磁共振波谱仪
其它光学测量仪
粘度计
硬度计
在线测厚仪
摩擦磨损试验机
试验机、拉力机、万能试验机
酶标仪
基因导入仪/电穿孔仪
蛋白印迹仪/转印仪
流式细胞仪
过滤器、超滤、微滤系统
细胞成像/高内涵成像
电泳仪及附件
动物代谢等功能检测设备
微生物（快速）检测系统
活体成像
摇床、振荡器
溶解氧测定仪
条码扫描仪
辐射仪/射线检测仪
多参数水质分析仪
四探针测试仪
干涉仪
三坐标测量机
轮廓仪/粗糙度仪
台阶仪