GB/T 14851-1993
电子工业用气体 磷化氢
Gas for electronic industry.Phosphine
GBT14851-1993, GB14851-1993
2010-05
- 标准号
- GB/T 14851-1993
- 别名
- GBT14851-1993, GB14851-1993
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14851-2009
- 当前最新
- GB/T 14851-2009
- 适用范围
- 本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。磷化氢是一种剧毒、可燃、具有腐鱼味的无色气体，在空气中高浓度时能自燃。 分子式：PH3 相对分子质量：33.9975（按1989年国际原子量）