BS EN 62047-10:2011
半导体装置.微电子机械装置.MEMS材料的微型柱压缩试验
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Micro-pillar compression test for MEMS materials
- 标准号
- BS EN 62047-10:2011
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN 62047-10:2011
- 代替标准
- NF A89-568:2017
BS EN 62047-10:2011相似标准
推荐
汽车传感器的发展趋势
未来的汽车传感器技术的发展趋势是微型化、多功能化、集成化和智能化。 20世纪末期，设计技术、材料技术，特别是Mems （微电子机械系统）技术的发展使微型传感器提高到了一个新的水平，利用微电子机械加工技术将微米级的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在同一芯片上，它具有体积小、价格便宜、可靠性高等特点，并且可以明显提高系统测试精度。...
生化传感器
然而，随着当前各种新材料、新原理和新技术的不断发展，特别是微电子机械系统 (Micro electro mechanical system ， MEMS) 技术和生物芯片技术的出现，目前生化传感器的概念已经跳出了原来狭义的圈子，扩展为以微型化、集成化、智能化和芯片化为特征的生化微系统。 ...
TOKO压力传感器芯体材质都有哪些？
目前，TOKO压力传感器芯体材质品种繁多，下面简单介绍下几种芯体材质的性能 一、单晶硅 硅在集成电路和微电子器件生产中有着广泛的应用，主要是利用硅的电学特性；在MEMS微机械结构中，则是利用其机械特性，继而产生新一代的硅机电器件和装置。硅材料储量丰富，成本低。硅晶体生长容易，并存在超纯无杂的材质，不纯度在十亿分这一的量级，因而本身的内耗小，机械品质因数可高达10^6数量级。...
凝点倾点测定仪使用的工作条件要求
凝点倾点测定仪性能特点： 1、先进微计算机控制技术，试验全过程的自动化完成，放样后，无需人员随机操作，一键完成凝点倾点测定集制冷、加热、倾点/凝点检测于一体。 2、凝点倾点测定仪采用10寸彩色液晶触摸屏，全中文界面显示，显示直观，操作简单。 3、具两路测试装置，可同时测试两个试样。配备微型打印机，自动打印试验结果数据。 4、进口复叠式压缩机制冷系统，制冷快,噪声小。 ...