EN 62047-10:2011
半导体器件.微型电机装置.第10部分:微型电机系统(MEMS)材料的微柱压缩试验

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials


 

 

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标准号
EN 62047-10:2011
发布
2011年
发布单位
欧洲电工标准化委员会
当前最新
EN 62047-10:2011
 
 

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