VDI 2083 Blatt 3-2005

Cleanroom technology - Metrology and test methods

VDI 2083 Blatt 3-2005 发布历史

This guideline specifies measurement procedures for cleanrooms, which are applied during handing over, in the context of the qualification of new installations, for routine checks and for continuous monitoring. The methods described here are tailored to the needs of cleanrooms, thus being different from measurement procedures for other technical systems.

VDI 2083 Blatt 3-2005由德国机械工程师协会 DE-VDI 发布于 2005-07。

VDI 2083 Blatt 3-2005在国际标准分类中归属于: 13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境。

VDI 2083 Blatt 3-2005 发布之时，引用了标准

• DIN EN 12469-2000 生物技术.微生物安全箱的性能标准
• DIN EN 61672-1-2003 电声学.声级计.第1部分:规范
• DIN EN ISO 7726-2002 热环境的人类工效学.物理量测量仪器 (ISO 7726:1998); 德文版本 EN ISO 7726:2001
• DIN EN ISO 9001-2000 质量管理体系.要求
• DIN EN ISO 14644-1-1999 洁净室和相关控制环境.第1部分:空气清洁度分级 (ISO 14644-1:1999); 德文版本 EN ISO 14644-1:1999

VDI 2083 Blatt 3-2005的历代版本如下：

• 1980年07月01日 VDI 2083 Blatt 3-1980 Clean room engineering; measuring technique
• 1983年02月01日 VDI 2083 Blatt 3-1983 Reinraumtechnik; Messtechnik
• 1993年02月01日 VDI 2083 Blatt 3-1993 Reinraumtechnik; Messtechnik in der Reinraumluft
• 2004年01月01日 VDI 2083 Blatt 3-2004 Reinraumtechnik - Messtechnik in der Reinraumluft
• 2005年07月 VDI 2083 Blatt 3-2005

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标准号

VDI 2083 Blatt 3-2005

发布日期

2005年07月

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

13.040.35

发布单位

DE-VDI

适用范围

This guideline specifies measurement procedures for cleanrooms, which are applied during handing over, in the context of the qualification of new installations, for routine checks and for continuous monitoring. The methods described here are tailored to the needs of cleanrooms, thus being different from measurement procedures for other technical systems.