VDI 2083 Blatt 3-2005
洁净室技术 计量和测试方法
Cleanroom technology - Metrology and test methods
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 3-2005
- 发布
- 2005年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 替代标准
- VDI 2083 Blatt 3-2022
- 当前最新
- VDI 2083 Blatt 3-2022
- 引用标准
- DI DIN 5035-6:2005 DIN EN 12469:2000 DIN EN 12599:2000 DIN EN 1822-1:1998 DIN EN 1822-2:1998 DIN EN 1822-3:1998 DIN EN 1822-4:2001 DIN EN 1822-5:2001 DIN EN 61672-1:2003 DIN EN ISO 14644-1:1999 DIN EN ISO 7726:2002 DIN EN ISO 9001:2000 DIN V ENV 1631:1997
- 被代替标准
- VDI 2083 Blatt 3-1983 VDI 2083 Blatt 3-2004
- 适用范围
- 本指南规定了洁净室的测量程序，这些程序适用于移交期间、新装置的鉴定、例行检查和连续监测。这里描述的方法是根据洁净室的需求定制的，因此不同于其他技术系统的测量程序。