BS EN 62047-12:2011
半导体装置.微型机电装置.使用MEMS结构的共振,薄膜材料的弯曲挠度试验方法
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
- 标准号
- BS EN 62047-12:2011
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN 62047-12:2011
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