EN 62047-12-2011
半导体器件.微型电机装置.第12部分:用微型电机系统(MEMS)结构谐振进行薄膜材料的弯曲疲劳试验方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures

 

 

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标准号
EN 62047-12-2011
发布日期
2011年
实施日期
废止日期
无
发布单位
欧洲电工标准化委员会

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