X射线衍射仪是对物质和材料的组成和原子级结构进行研究和鉴定的基本手段。X射线衍射仪对单晶、多晶和非晶样品进行结构参数分析,如物相鉴定和定量分析、室温至高温段的物相分析、晶胞参数测定(晶体结构分析)、多晶X-射线衍射的指标化以及晶粒尺寸和结晶度的测定等。可精确地测定物质的晶体结构,如:物相定性与定量分析,衍射谱的指标化及点阵参数。 ...
X射线反射技术对厚度的精确控制优势, 和X射线衍射技术对晶体结构的辨识和解析能力 ,成为对HfO2薄膜制程进行厚度、密度、表面及界面粗糙度、界面层变化、物相、结晶度以及晶粒尺寸等参数的常用测量方案。而且X射线反射(XRR)以及多晶X射线衍射(XRD)两种测量技术均属于对晶圆片的无损测量方法,且可以提供定量结果,因此也被用于制程的自动化监控。...
X射线衍射仪 基本构成 (1) 高稳定度X射线源 提供测量所需的X射线, 改变X射线管阳极靶材质可改变X射线的波长, 调节阳极电压可控制X射线源的强度。 (2) 样品及样品位置取向的调整机构系统 样品须是单晶、粉末、多晶或微晶的固体块。 (3) 射线检测器 检测衍射强度或同时检测衍射方向, 通过仪器测量记录系统或计算机处理系统可以得到多晶衍射图谱数据。 ...
每种化学物质,当 其化学成分与固体物质状态(晶型)确定时,应该具有独立的特征 X 射线衍射 图谱和教据,衍射图谱信息包括衍射峰数量、衍射峰位置(2θ 值或 d 值)、衍 射峰强度(相对强度,绝对强度)、衍射峰几何拓扑(不同衍射峰间的比例) 等。粉末 X 射线衍射法适用于对晶态物质或非晶态物质的定性鉴别与定量分析。 常用于固体物质的结晶度定性检查、多晶型种类、晶型纯度、共晶组成等分析。...
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