DS/EN 62374-1-2011

Semiconductor devices - Part 1: Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers

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标准号

DS/EN 62374-1-2011

发布日期

2011年03月12日

实施日期

2011年03月12日

废止日期

无

国际标准分类号

31.080.01

发布单位

DK-DS

被代替标准

DS/EN 62374-2007

适用范围

IEC 62374-1:2010 describes a test method, test structure and lifetime estimation method of the time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers applied in semiconductor devices.

DS/EN 62374-1-2011系列标准