ASTM F1394-92(2012)
测定气体分配系统阀门粒径分布的标准试验方法
Standard Test Method for Determination of Particle Contribution from Gas Distribution System Valves
- 标准号
- ASTM F1394-92(2012)
- 发布
- 1992年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F1394-92(2020)
- 当前最新
- ASTM F1394-92(2020)
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖用于安装到高纯度气体分配系统中的气体分配系统组件。
1.1.1 本测试方法描述了一个程序，旨在对在恶劣条件下测试的阀门的颗粒产生性能进行统计上的显着比较。
1.1.2 本测试方法并非旨在作为特定阀门测试后监测持续颗粒性能的方法。
1.2 本测试方法采用凝核计数器 (CNC)，该计数器适用于半导体应用中通常使用的直列燃气阀。它适用于各种类型（例如隔膜或波纹管）、尺寸为 6.3 至 12.7 毫米（1/4 至 1/2 英寸）的自动和手动阀门。有关此测试方法在较大阀门上的应用，请参阅附录中的表格。
1.2.1 大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的阀门可以通过此方法进行测试。测试台的尺寸必须相应确定。大于 12.7 毫米（1/2 英寸）的部件应在保持雷诺数 208201;000 至 218201;000 的情况下进行测试。这是在 30.5 m/s (100 ft/s) 速度下测试的 12.7 毫米（1/2 英寸）组件的雷诺数。
1.3 局限性：
1.3.1 本测试方法适用于总粒子数大于凝结核粒子计数器和 DOE 最低检出限（MDL）的情况。