VDI 2083 Blatt 17-2013
洁净室技术 材料与所需洁净度的相容性

Cleanroom technology - Compatibility of materials with the required cleanliness


标准号
VDI 2083 Blatt 17-2013
发布
2013年
发布单位
德国机械工程师协会
当前最新
VDI 2083 Blatt 17-2013
 
 
引用标准
DI DIN 50452-1:1995 DIN 53804-2:1985 DIN 55301:1978 DIN EN 1335-1:2002 DIN EN 1335-2:2010 DIN EN 1335-3:2009 DIN EN 13779:2007 DIN EN 14041:2008 DIN EN 1815:1998 DIN EN 1815:2011 DIN EN 61340-5-1:2008
被代替标准
VDI 2083 Blatt 17-2011
适用范围
该指南涉及颗粒和化学(分子)污染、材料的静电特性以及表面的清洁性。生物和放射性污染不是本指南的具体主题。该指南定义了材料的清洁度兼容性和洁净室兼容性。在此基础上进行分类,并规定程序以确定其是否适合清洁生产区域的预期用途。

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