DIN EN ISO 14644-10:2013
洁净室和相关控制环境. 第10部分: 采用化学浓度法对表面洁净度的分类(ISO 14644-10-2013); 德文版本EN ISO 14644-10-2013

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013); German version EN ISO 14644-10:2013

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标准号

DIN EN ISO 14644-10:2013

发布

2013年

发布单位

德国标准化学会

替代标准

DIN EN ISO 14644-10 E:2022-03

当前最新

DIN EN ISO 14644-10:2022-10

 

 

被代替标准

DIN EN ISO 14644-10:2011

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