DIN EN ISO 14644-9:2012
净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类(ISO 14644-9-2012).德文版本EN ISO 14644-9-2012
Cleanrooms and associated controlled environments.Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012); German version EN ISO 14644-9:2012
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-9:2012
- 发布
- 2012年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-9:2022-10
- 引用标准
- ISO 14644-6:2007
- 被代替标准
- DIN EN ISO 14644-9:2008
- 适用范围
- ISO 14644 的这一部分根据洁净室和相关受控环境应用中的颗粒浓度建立了固体表面清洁度等级的分类。附件 A 至 D 中给出了有关测试和测量方法的建议以及有关表面特性的信息。ISO 14644 的这一部分适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，例如墙壁、天花板、地板、工作环境、工具、设备和产品。按颗粒浓度 (SCP) 进行的表面清洁度分类仅限于 0.05 pm 至 500μm 之间的颗粒。
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