HG/T 4509-2013
工业高纯氢氟酸

High purity hydrofluoric acid for industrial use


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HG/T 4509-2013



标准号
HG/T 4509-2013
发布日期
2013年10月17日
实施日期
2014年03月01日
废止日期
中国标准分类号
G11
国际标准分类号
71.060.30
发布单位
CN-HG
引用标准
GB 190 GB/T 191-2008 GB/T 6678 GB/T 6680 GB/T 6682-2008 GB/T 8170 HG/T 3696.1 HG/T 3696.2 HG/T 3696.3
适用范围
本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、标签,包装、运输和贮存及安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。

HG/T 4509-2013 中可能用到的仪器设备


氢氟酸 测试方法





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