HG/T 4509-2013
工业高纯氢氟酸
High purity hydrofluoric acid for industrial use
HGT4509-2013, HG4509-2013
2024-07
- 标准号
- HG/T 4509-2013
- 别名
- HGT4509-2013, HG4509-2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 行业标准-化工
- 替代标准
- HG/T 4509-2023
- 当前最新
- HG/T 4509-2023
- 引用标准
- GB 190 GB/T 191-2008 GB/T 6678 GB/T 6680 GB/T 6682-2008 GB/T 8170 HG/T 3696.1 HG/T 3696.2 HG/T 3696.3
- 适用范围
- 本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、标签,包装、运输和贮存及安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
HG/T 4509-2013相似标准
HG/T 4509-2013 中可能用到的仪器设备
氢氟酸 测试方法
德国标准化学会
DIN ISO 14869-1:2003-01 土壤质量 测定总元素含量的溶解度 第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解度
DIN 50451-2:2003-04 半导体技术材料的测试 - 液体中微量元素的测定 - 第 2 部分：钙 (Ca)、钴 (Co)、铬 (Cr)、铜 (Cu)、铁 (Fe)、镍 (Ni) 和锌 (Zn) ）在氢氟酸中，采用等离子体诱导发射光谱...
DIN EN 13656:2019 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物 用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消化，以便随后测定元素
DIN EN 13656:2021 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物 用盐酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氢氟酸（HF）酸混合物进行消化，以便随后测定元素；德文版 EN 13656:2020
DIN ISO 14869-1:2003 土质.测定元素总含量的溶解法.第1部分:用氢氟酸和过氯酸溶解
DIN 50451-6:2014 半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素
DIN 50451-2:2003 半导体工艺材料测试.液体中痕量元素测定.第2部分:用等离子感应发射分光光度测定法测定氢氟酸中钴(Co)、铬(Cr)、铜(Ca)、铁(Fe)和镍(Ni)的含量
DIN EN 13656:2003 废弃物特性.废弃物元素的连续测定用微波辅助的氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3 和盐酸(HCl)混合物的分解; 德文版本 EN 13656:2002
法国标准化协会
NF ISO 14869-1:2001 土壤质量 总元素含量测定 第1部分：氢氟酸和高氯酸溶解
NF ISO 21438-2:2010 工作场所空气 离子色谱法测定无机酸 第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸）
NF ISO 21438-3:2010 工作场所空气 离子色谱法测定无机酸 第3部分：氢氟酸和颗粒氟化物
NF X43-211-3*NF ISO 21438-3:2010 工作场所空气 离子色谱法测定无机酸 第3部分：氢氟酸和粒状氟化物
NF X31-428-3*NF ISO 14869-3:2017 土壤质量 测定总元素含量的溶解法 第3部分：使用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸溶解
NF ISO 14869-3:2017 土壤质量 测定总元素含量的溶液处理 第 3 部分：采用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸进行溶液处理
NF X30-435*NF EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和垃圾. 用盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)和四氟硼酸(HBF4)或氢氟酸(HF)混合物进行消解,以便随后测定元素
NF X43-211-2*NF ISO 21438-2:2010 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第2部分:除了氢氟酸之外的挥发酸(盐酸、氢溴酸和硝酸)
NF T20-337:1984 工业用含水氢氟酸.取样和试验方法
NF X31-428-1*NF ISO 14869-1:2001 土壤质量.为测定总元素含量进行的溶解作用.第1部分:使用氢氟酸和过氯酸的溶解
NF X43-304:2007 固定源辐射.用氢氟酸(HF)含量值表示的氟化物浓度的测量.人工法
英国标准学会
BS ISO 21438-2:2010 工作场所空气 利用色谱分析法测定无机酸 除氢氟酸（盐酸、氢溴酸和硝酸）之外的挥发酸
19/30397547 DC BS EN 13656 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物 用盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)和四氟硼酸(HBF4)或氢氟酸(HF)酸混合物消解 以便随后测定元素
22/30440721 DC BS ISO 21438-2 职场氛围 离子色谱法测定无机酸 第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸）
BS ISO 21438-2:2024 职场氛围 离子色谱法测定无机酸 挥发酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸）
BS ISO 14869-3:2017 土壤质量. 溶解测定元素总含量. 采用加压微波技术溶解氢氟酸, 盐酸和硝酸
BS ISO 21438-2:2009 工作场所空气.利用色谱分析法测定无机酸.除氢氟酸(盐酸,氢溴酸和硝酸)之外的挥发酸
BS ISO 21438-3:2010 工作场所空气.离子色谱法测定无机酸.氢氟酸和氟化物微粒
GSO
国际标准化组织
ISO/DIS 21438-2 工作场所大气《离子色谱法测定无机酸》第2部分：挥发性酸，氢氟酸（盐酸、氢溴酸和硝酸）除外
ISO/FDIS 21438-2:2023 工作场所气氛 离子色谱法测定无机酸 第2部分：挥发性酸 氢氟酸除外（盐酸、氢溴酸和硝酸）
ISO 14869-1:2001 土壤质量 元素总含量测定用分解 第1部分：用氢氟酸和高氯酸的分解
ISO 14869-3:2017 土壤质量. 溶解测定元素总含量. 第3部分: 采用加压微波技术溶解氢氟酸, 盐酸和硝酸
ISO 21438-2:2009 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第2部分:除氢氟酸之外的挥发酸(盐酸,氢溴酸及硝酸)
ISO 21438-3:2010 工作场所空气.离子色谱分析法测定无机酸.第3部分:氢氟酸和氟化物微粒
ISO 3139:1976/Amd 1:1980 工业用含水氢氟酸 取样和试验方法 修改1
ISO 3139:1976 工业用含水氢氟酸 取样和试验方法
韩国科技标准局
KS M 1804-2008(2018) 氢氟酸用于半导体测试方法
KS I ISO 21438-3-2012(2017) 工作场所大气离子色谱法测定无机酸第3部分:氢氟酸和颗粒氟化物
KS D 0224-2016 不锈钢的硝酸-氢氟酸试验方法
KS M ISO 3139:2016 工业用含水氢氟酸 取样和试验方法
KS M ISO 3139-2016(2021) 工业用水氢氟酸取样和试验方法
KS I ISO 14869-1:2018 土壤质量 - 用于测定总元素含量的溶解度 - 第1部分:用氢氟酸和高氯酸溶解
KS I ISO 21438-2:2019 工作场所空气 - 离子色谱法无机酸测定 - 第2部分:易失性的酸 除了氢氟酸（盐酸 氢溴酸和硝酸）
KS M ISO 3139-2021 工业用氢氟酸水溶液 取样和试验方法
KS D 0224-2021 不锈钢硝酸-氢氟酸试验方法
KS M 1804-2023 半导体用氢氟酸试验方法
KS I ISO 14869-1:2007 土壤质量.元素总含量测定用分解.第1部分:用氢氟酸和高氯酸的分解
KS I ISO 21438-3:2012 工作场所空气.利用离子色谱法测量无机酸.第3部分:氢氟酸与颗粒状氟化物
KS I ISO 21438-2:2013 工作场所空气.用离子色谱法测定无机酸.第2部分:除氢氟酸外的挥发性酸(盐酸、氢溴酸和硝酸)
KS M ISO 3139:2011 工业用含水氢氟酸.取样和试验方法
KS M 1804-2008 半导体用氢氟酸试验方法
KS D 0224-2005 不锈钢硝酸.氢氟酸腐蚀试验方法
SCC
DANSK DS/ISO 14869-3:2017 土壤质量 测定总元素含量的溶解 第3部分：使用加压微波技术用氢氟酸、盐酸和硝酸溶解
DIN EN 13656 E:2019 文件草案 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物 用盐酸 (HCl)、硝酸 (HNO3) 和四氟硼酸 (HBF4) 或氢氟酸 (HF) 酸混合物消化 以便随后测定元素 德语和英语版本 prEN 13656...
DANSK DS/EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物 用盐酸 (HCl)、硝酸 (HNO₃) 和四氟硼酸 (HBF₄) 或氢氟酸 (HF) 酸混合物进行消解 以便随后测定元素
NS-EN 13656:2020 土壤、处理过的生物废物、污泥和废物 用盐酸 (HCl)、硝酸 (HNO3) 和四氟硼酸 (HBF4) 或氢氟酸 (HF) 酸混合物消解 以便随后测定元素