超净高纯硫酸 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
超净高纯试剂的应用多种多样,例如在晶圆生产过程中对于晶圆的清洗,在芯片制造光刻工艺中的刻蚀、显影和洗脱过程,同时在芯片制造和 PCB 板制造中的电镀液(例如硫酸铜)的制备原料硫酸也属于超净高纯试剂范畴。晶圆清洗试剂是前端加工关键工艺。...
电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。...
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