EN ISO 25178-603:2013
产品几何技术规范(GPS).表面纹理:区域. 第603部分:非接触式的标称特性(移相干涉显微镜)工具

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phaseshifting interferometric microscopy) instruments


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标准号
EN ISO 25178-603:2013
发布
2013年
发布单位
欧洲标准化委员会
当前最新
EN ISO 25178-603:2013
 
 
被代替标准
FprEN ISO 25178-603:2013
ISO 25178 的这一部分规定了相移干涉 (PSI) 显微镜测量装置的计量特性，用于测量表面轮廓和测量某个区域的表面质量。

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