EN ISO 25178-603:2013
产品几何技术规范(GPS).表面纹理:区域. 第603部分:非接触式的标称特性(移相干涉显微镜)工具

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phaseshifting interferometric microscopy) instruments

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标准号

EN ISO 25178-603:2013

发布

2013年

发布单位

欧洲标准化委员会

当前最新

EN ISO 25178-603:2013

 

 

被代替标准

FprEN ISO 25178-603:2013

适用范围

ISO 25178 的这一部分规定了相移干涉 (PSI) 显微镜测量装置的计量特性，用于测量表面轮廓和测量某个区域的表面质量。

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