EN ISO 25178-603:2013
产品几何技术规范(GPS).表面纹理:区域. 第603部分:非接触式的标称特性(移相干涉显微镜)工具

Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phaseshifting interferometric microscopy) instruments

EN ISO 25178-603:2013 发布历史

EN ISO 25178-603:2013由欧洲标准化委员会 IX-CEN 发布于 2013。

EN ISO 25178-603:2013在国际标准分类中归属于: 17.040.20 表面特征,17.040.30 测量仪器仪表。

EN ISO 25178-603:2013的历代版本如下：

• 2013年 EN ISO 25178-603:2013 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:区域. 第603部分:非接触式的标称特性(移相干涉显微镜)工具
• 2009年 EN ISO 25178-603:2009 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:区域. 第603部分:非接触式的标称特性(移相干涉显微镜)工具

ISO 25178 的这一部分规定了相移干涉 (PSI) 显微镜测量装置的计量特性，用于测量表面轮廓和测量某个区域的表面质量。

标准号

EN ISO 25178-603:2013

发布

2013年

发布单位

欧洲标准化委员会

当前最新

EN ISO 25178-603:2013

 

 

被代替标准

FprEN ISO 25178-603:2013

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