DS/EN 62047-11-2013

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 DS/EN 62047-11-2013 前三页，或者稍后再访问。

如果您需要购买此标准的全文，请联系： 。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

DS/EN 62047-11-2013

发布日期

2013年10月18日

实施日期

2013年10月18日

废止日期

无

国际标准分类号

31.080.99

发布单位

DK-DS

适用范围

IEC 62047-11:2013 specifies the test method to measure the linear thermal expansion coefficients (CLTE) of thin free-standing solid (metallic, ceramic, polymeric, etc.) micro-electro-mechanical system (MEMS) materials with length between 0,1 mm and 1 mm a

DS/EN 62047-11-2013系列标准