KS C 6520-2008
半导体工艺零件的等离子耐磨性测试

Components and materials of semiconductor process-Measurement of wear characteristics by plasma


 

 

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标准号
KS C 6520-2008
发布
2008年
发布单位
韩国科技标准局
替代标准
KS C 6520-2019
当前最新
KS C 6520-2021
 
 
이 표준은 플라즈마 식각 또는 증착 공정장비 내부의 부품에 적용되며, 플라즈마에 노출되는

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