이 표준은 플라즈마 식각 또는 증착 공정장비 내부의 부품에 적용되며, 플라즈마에 노출되는
KS C 6520-2008由韩国标准 KR-KATS 发布于 2008-11-28,并于 2008-11-28 实施。
KS C 6520-2008 在中国标准分类中归属于: L47 其他。
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