GB/T 30857-2014
蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
GB/T 30857-2014 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- GB/T 30857-2014
- 发布日期
- 2014年07月24日
- 实施日期
- 2015年04月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 14264
- 适用范围
- 本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。