YS/T 983-2014
多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas

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标准号

YS/T 983-2014

发布日期

2014年10月14日

实施日期

2015年04月01日

废止日期

无

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

发布单位

行业标准-有色金属

引用标准

GB/T 7445 GB/T 8979

适用范围

本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%~100%。

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