KS C 6520-2008
半导体工艺零件的等离子耐磨性测试

Components and materials of semiconductor process-Measurement of wear characteristics by plasma

KS C 6520-2008 发布历史

이 표준은 플라즈마 식각 또는 증착 공정장비 내부의 부품에 적용되며, 플라즈마에 노출되는

KS C 6520-2008由韩国标准 KR-KATS 发布于 2008-11-28，并于 2008-11-28 实施。

KS C 6520-2008 在中国标准分类中归属于: L47 其他。

KS C 6520-2008的历代版本如下：

• 2008年11月28日 KS C 6520-2008 半导体工艺零件的等离子耐磨性测试
• 2019年12月31日 KS C 6520-2019 半导体工艺的部件和材料 - 的通过等离子体磨损特性的测量
• 2021年12月29日 KS C 6520-2021 半导体工艺的部件和材料.用等离子体测量磨损特性

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标准号

KS C 6520-2008

发布日期

2008年11月28日

实施日期

2008年11月28日

废止日期

无

中国标准分类号

L47

国际标准分类号

31.080.00

发布单位

KR-KATS

适用范围

이 표준은 플라즈마 식각 또는 증착 공정장비 내부의 부품에 적용되며, 플라즈마에 노출되는