GB/T 31351-2014
碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
GBT31351-2014, GB31351-2014
GB/T 31351-2014 发布历史
本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。
GB/T 31351-2014由国家质检总局 CN-GB 发布于 2014-12-31，并于 2015-09-01 实施。
GB/T 31351-2014 在中国标准分类中归属于: H26 金属无损检验方法，在国际标准分类中归属于: 77.040.99 金属材料的其他试验方法。
GB/T 31351-2014的历代版本如下：
- 2014年 GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
