KS A 0083-2013
质谱计式检漏仪校准

Mass spectrometer(type leak) detector general rules for calibration system

被代替

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标准号: KS A 0083-2013
发布: 2013年
发布单位: 韩国科技标准局
替代标准: KS A 0083-2013(2018)
当前最新: KS A 0083-2023

被代替标准: KS A 0083-2002

适用范围: 이 표준은 질량 분석계를 검지기로 사용하고, 그 분석관을 작동 가능한 진공 상태로 유지하기 위한진공 배기계를 내장하는 질량 분석계형 누출 탐지기(이하 누출 탐지기라 한다.)의 교정 방식에 대하여 규정한다.다만, 이 방법은 주로 헬륨 4를 사용하는 것에 대하여 적용한다.또한 다른 가스를 사용하는 것에도 준용한다.

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