KS L 1619-2013
电传导陶器薄膜电阻率测定方法.4点探针法

Testing methods for resistivity of conductive fine ceramic thin films with four point probe array

说明：

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
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标准号
KS L 1619-2013
发布日期
2013年10月26日
实施日期
2013年10月26日
废止日期
无
中国标准分类号
Q32
国际标准分类号
29.045
发布单位
KR-KATS
被代替标准
KS L 1619-2003
适用范围
이 표준은 파인 세라믹 박막의 저항률을 4탐침법에 의해 시험하는 방법에 관하여 규정한다. 적용 가능한 저항률의 범위는 1×10-5 Ωcm∼2×102 Ωcm로 하며, 막의 두께는 500 μm 이하로 한다.


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