KS L 1619-2013
电传导陶器薄膜电阻率测定方法.4点探针法

Testing methods for resistivity of conductive fine ceramic thin films with four point probe array

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标准号

KS L 1619-2013

发布日期

2013年10月26日

实施日期

2013年10月26日

废止日期

无

中国标准分类号

Q32

国际标准分类号

29.045

发布单位

KR-KATS

被代替标准

KS L 1619-2003

适用范围

이 표준은 파인 세라믹 박막의 저항률을 4탐침법에 의해 시험하는 방법에 관하여 규정한다. 적용 가능한 저항률의 범위는 1×10-5 Ωcm∼2×102 Ωcm로 하며, 막의 두께는 500 μm 이하로 한다.