在绿色照明领域,用碳化硅衬底制作的LED性能远优于蓝宝石衬底。专家表示,碳化硅衬底需求将在短期内迎来一个爆发增长期。 该项目得到国家重大专项和“863”计划的支持。...
还有一类工作是利用SPM直接测量样品表面上的某一与电学性质相关的物理量,如研究基于有机共轭体系的薄膜晶体管的电学性质,测量不同层数石墨烯的表面电势。除此以外,还被用于顺电-铁电相变、电荷注入、分析表面污染物等等领域。...
图1 6英寸碳化硅晶体和单晶衬底片 图2 6英寸碳化硅单晶片的拉曼光谱(4H碳化硅单晶) 图3 6英寸碳化硅单晶片的X射线摇摆曲线(半峰宽平均值仅27.2弧秒)...
陈小龙长期从事第三代半导体材料碳化硅晶体制备的基础和应用基础研究,20多年来,他带领团队从零开始自主创新,抢占科技制高点,打破国外封锁,实现了国产化。2023年底,陈小龙带领团队另辟蹊径,实现了晶圆级立方碳化硅单晶生长的新突破,它区别于目前应用广泛的六方碳化硅(4H-SiC),有望制备出具有更高性能的碳化硅基晶体管,这是国际首次获得可量产、可商业化的晶圆级立方碳化硅单晶生长技术。...
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