SJ/T 11500-2015
碳化硅单晶晶向的测试方法
Test method for measuring crystallographic orientation of monocrystalline silicon carbide
SJT11500-2015, SJ11500-2015
- 标准号
- SJ/T 11500-2015
- 别名
- SJT11500-2015, SJ11500-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11500-2015
- 适用范围
- 本标准规定了利用X射线衍射定向法测定碳化硅单晶晶向的方法。本标准适用于晶型为6H和4H的碳化硅单晶的晶向测定。