GB/T 32278-2015
碳化硅单晶片平整度测试方法

Test method for flatness of silicon carbide single wafer

GBT32278-2015, GB32278-2015


标准号
GB/T 32278-2015
别名
GBT32278-2015, GB32278-2015
发布
2017年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 32278-2015
 
 
引用标准
GB 50073 GB/T 14264

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