找不到引用ASTM E766-14e1 用于校准扫描电子显微镜的放大倍数的标准实施规程 的标准
扫描电子显微镜的放大倍数和分辨力虽然没有透射电子显微镜高,但是也能放大几十万倍,可以看到几个纳米的物体,用于测量大于10nm的颗粒物是可行的。更重要的是:扫描电子显微镜可以观察很厚的样品,容易制造长度标准器具。已有合理合法的供扫描电子显微镜使用的长度标准器具。...
对长度测量示值误差进行校准,也可以用于实际被测样品的长度测量值进行修正,这也是国家标准中利用扫描电镜进行纳米级长度测量时的要求。可直接利用经过校准的线宽、线间距、格栅型等标准样品对扫描电镜长度测量示值误差进行校准。 3、X射线能谱仪的校准 X射线能谱仪是分析型扫描电镜必备的重要附件,其功能是进行化学元素的半定量或定量分析。...
扫描电子显微镜 (scanning electron microscope, SEM) 是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器 。具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富, 几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。...
2、放大倍数 扫描电镜的放大倍数可表示为M=Ac/As式中,Ac—荧光屏上图像的边长;As—电子束在样品上的扫描振幅。一般地,Ac是固定的(通常为100 mm),则可通过改变As来改变放大倍数。目前,大多数商品扫描电镜放大倍数为20~20,000倍,介于光学显微镜和透射电镜之间,即扫描电镜弥补了光学显微镜和透射电镜放大倍数的空挡。 ...
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