ASTM E766-14e1
用于校准扫描电子显微镜的放大倍数的标准实施规程
Standard Practice for Calibrating the Magnification of a Scanning Electron Microscope
- 标准号
- ASTM E766-14e1
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E766-14(2019)
- 当前最新
- ASTM E766-14(2019)
- 引用标准
- ASTM E177 ASTM E29 ASTM E456 ASTM E691 ASTM E7
- 适用范围
- 1.1 本实践涵盖了扫描电子显微镜放大倍数校准所需的一般程序。真实放大倍率和指示放大倍率之间的关系是操作条件的复杂函数。2因此，这种做法必须应用于要使用的每组标准操作条件。 1.2 以 SI 单位表示的值被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
ASTM E766-14e1相似标准
推荐
洁净室用检测仪器——特殊测量仪器
扫描电子显微镜的放大倍数和分辨力虽然没有透射电子显微镜高，但是也能放大几十万倍，可以看到几个纳米的物体，用于测量大于10nm的颗粒物是可行的。更重要的是：扫描电子显微镜可以观察很厚的样品，容易制造长度标准器具。已有合理合法的供扫描电子显微镜使用的长度标准器具。...
扫描电镜的校准方法
对长度测量示值误差进行校准，也可以用于实际被测样品的长度测量值进行修正，这也是国家标准中利用扫描电镜进行纳米级长度测量时的要求。可直接利用经过校准的线宽、线间距、格栅型等标准样品对扫描电镜长度测量示值误差进行校准。 3、X射线能谱仪的校准 X射线能谱仪是分析型扫描电镜必备的重要附件，其功能是进行化学元素的半定量或定量分析。...
扫描电子显微镜的性能特点介绍
扫描电子显微镜 (scanning electron microscope, SEM) 是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器 。具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富, 几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。...
扫描电镜的原理介绍
扫描电镜的原理介绍： 扫描电子显微镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面，从而获得样品信息的电子显微镜。所以其使用电子束为照明源，电子束在样品表面扫描，利用电子和物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要依据分辨率和有效放大倍数。分辨率即能够分辨的小距离。 ...