GB/T 14015-1992
硅-兰宝石外延片

Silicon on sapphire epitaxial wafers

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GB/T 14015-1992

标准号
GB/T 14015-1992
发布日期
1992年12月28日
实施日期
1993年08月01日
废止日期
无
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
29.040.30
发布单位
CN-GB
适用范围
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。

GB/T 14015-1992系列标准

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