GB/T 14015-1992
硅-兰宝石外延片

Silicon on sapphire epitaxial wafers

GB/T 14015-1992 发布历史

本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。

GB/T 14015-1992由国家质检总局 CN-GB 发布于 1992-12-28，并于 1993-08-01 实施。

GB/T 14015-1992 在中国标准分类中归属于: L90 电子技术专用材料。

GB/T 14015-1992的历代版本如下：

• 1992年12月28日 GB/T 14015-1992 硅-兰宝石外延片

标准号

GB/T 14015-1992

发布日期

1992年12月28日

实施日期

1993年08月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

29.040.30

发布单位

CN-GB

适用范围

本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。

GB/T 14015-1992系列标准