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扫描探针显微镜的种类 扫描探针显微镜主要可分为扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、力调制显微镜(FMM)、相位检测显微镜(PDM)、静电力显微镜(EFM)、电容扫描显微镜(SCM)、热扫描显微镜(SThM)和近场光隧道扫描显微镜(NSOM)等各种系列显微镜。 ...
于是迫切要求找到一种在X、Y、Z三个方向的分辨力均能达到纳米量级的表面粗糙度测量方法。以扫描隧道显微镜与原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜技术，由于其超高分辨力，完全能满足这种微小尺寸的测量要求。...
于是迫切要求找到一种在X、Y、Z三个方向的分辨力均能达到纳米量级的表面粗糙度测量方法。以扫描隧道显微镜与原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜技术，由于其超高分辨力，完全能满足这种微小尺寸的测量要求。...
原子力激光显微镜扫描隧道显微镜技术曾在1986年荣获诺贝尔物理学奖。这是物理学与计算机结合的产物。它是把电压加到样品和探针上，当探针接触样品时产生隧道电子，其隧道电子数将随样品到探针的间距而改变，目前其纵向和横向分辨率均可达埃（微微微米）级。在扫描隧道显微镜基础上，美国数字仪器公司又推出了原子力显微镜。该技术是把前者的导体探针改为金刚石针，并使其悬浮在样品表面。...
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