IEC 62047-1:2016
半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
- 标准号
- IEC 62047-1:2016
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-1:2016
- 被代替标准
- IEC 47F/232/FDIS:2015 IEC 62047-1:2005
- 适用范围
- IEC 62047 的这一部分定义了微机电设备的术语，包括此类设备的生产过程。
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