BS EN 62047-25:2016
半导体器件. 微型机电装置. 硅基MEMS制造技术. 微键合区拉压和剪切强度的测量方法

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area

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标准号

BS EN 62047-25:2016

发布

2016年

发布单位

英国标准学会

当前最新

BS EN 62047-25:2016

 

 

引用标准

EN 62047-1 EN ISO 10012 IEC 62047-1 ISO 10012

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