IEC 62047-4:2008
半导体装置.微电机装置.第4部分:MEMS用总规范
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specifications for MEMS
- 标准号
- IEC 62047-4:2008
- 发布
- 2008年
- 中文版
- GB/T 32817-2016 (修改采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-4:2008
- 引用标准
- IEC 60027 IEC 60068-2 IEC 60617 IEC 60747-1:2006 IEC 60749 IEC 61193-2 IEC 62047-1 IEC QC 001002-3:2005 ISO 1000 ISO 2859-1
- 被代替标准
- IEC 47/1975/FDIS:2008
- 适用范围
- IEC 62047 的这一部分描述了由半导体制成的微机电系统 (MEMS) 的通用规范，这是本系列其他部分针对各种类型 MEMS 应用（例如传感器、RF MEMS，不包括光学 MEMS）给出的规范的基础。生物 MEMS、微型 TAS 和功率 MEMS。该标准规定了 IECQ-CECC 系统中使用的质量评估的一般程序，并建立了描述和测试电气、光学、机械和环境特性的一般原则。 IEC 62047 的这一部分有助于制定定义微加工技术制造的设备和系统的标准，包括但不限于材料表征和处理、组装和测试、过程控制和测量方法。该标准中描述的MEMS基本上由半导体材料制成。然而，本标准中的陈述也适用于使用半导体以外材料的MEMS，例如聚合物、玻璃、金属和陶瓷材料。
IEC 62047-4:2008相似标准
推荐
关注 | 这些IEC国际标准由我国牵头及联合牵头制修订
of MEMS resonators北京遥测技术研究所、中国电子技术标准化研究院、河北半导体研究所、中机生产力促进中心10SC47FIEC 62047-33:2019 ED1半导体器件-微电子机械器件-第33部分：MEMS压阻式压力敏感器件Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 33: MEMS piezoresistive...
美国著名传感器企业
公司是在最初由康奈尔大学研发的高深宽比硅微加工技术方面的先驱，今日在MEMS产品设计、工艺制程和品质控制方面享有全球声誉。消费电子的全球巨头们在游戏、移动终端、个人导航以及硬盘保护产品使用Kionix的产品。Kionix的MEMS产品细分为汽车用、工业用、和医疗健康用。公司提供的MEMS惯性传感器是业界最多元化的系列之一，包括单轴、双轴、及三轴加速度计，陀螺仪、及独特的传感器组合。...
全球智能传感器技术发展得怎么样了？
MEMS、CMOS是智能传感器制造的两种主要技术。预计CMOS技术将成为最大份额占有者，将从2013年的4.74亿美元上升到2020年的41.2亿美元，约占总市场份额的40％。光谱学技术是智能传感器增长最快的新技术，2013~2017年的年增加率高达38％左右。 ...
GPS拒止环境下的新型导航技术
项目分两部分进行，将应用到Micro-PNT项目的研发成果。第一部分是导航级惯性测量装置（PRIGM:NGIMU）。“导航级微机电系统已经得到了成功验证，PRIGM:NGIMU项目的目的就是尽快实现这一技术在武器系统中的应用，”Lutwak说到。项目的目的是制造一个完全导航级的MEMS惯性测量装置，实现在GPS拒止环境下的弹药制导功能。...