BS EN ISO 14644-13:2017
洁净室和相关控制环境 - 第13部分：清洁表面以达到在颗粒和化学分类方面确定的清洁度

Cleanrooms and associated controlled environments. Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

标准号

BS EN ISO 14644-13:2017

发布

2017年

发布单位

英国标准学会

当前最新

BS EN ISO 14644-13:2017

 

 

引用标准

ASTM D6361/D6361M-98(2015) ASTM E2042/E2042M-09(2016) ASTM G122-96(2015) E1 ISO 14644-10:2013 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-8:2013 ISO 14644-9:2012 SAE AMS03-2

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