PNS ISO 14644-12-2021
洁净室和相关受控环境.第12部分：用纳米颗粒浓度监测空气清洁度的规范

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration

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标准号: PNS ISO 14644-12-2021
发布日期: 2021年
实施日期
废止日期: 无
中国标准分类号: C70
国际标准分类号: 13.040.35
发布单位: PH-BPS

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