硅氧硅红外吸收

本专题涉及硅氧硅红外吸收的标准有6条。

国际标准分类中,硅氧硅红外吸收涉及到半导体材料、金属材料试验。

在中国标准分类中,硅氧硅红外吸收涉及到元素半导体材料、半金属及半导体材料分析方法、金属物理性能试验方法。


国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会,关于硅氧硅红外吸收的标准

  • GB/T 40561-2021 光伏硅材料 氧含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
  • GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

国家质检总局,关于硅氧硅红外吸收的标准

美国材料与试验协会,关于硅氧硅红外吸收的标准

  • ASTM F1188-00 红外吸收法测定硅的间隙原子氧含量的标准试验方法

德国标准化学会,关于硅氧硅红外吸收的标准

  • DIN 50438-1-1995 半导体工艺材料检验.用红外吸收法测量硅的杂质含量.第1部分:氧

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可能用到的仪器设备

 

岛津傅里叶变换红外光谱仪IRTracer-100

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傅立叶变换红外光谱仪IRPrestige-21

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