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薄膜弯曲疲劳试验

本专题涉及薄膜弯曲疲劳试验的标准有3条。

国际标准分类中，薄膜弯曲疲劳试验涉及到半导体分立器件。

在中国标准分类中，薄膜弯曲疲劳试验涉及到。

丹麦标准化协会，关于薄膜弯曲疲劳试验的标准

• DS/EN 62047-12:2012 半导体器件-微机电器件-第12部分：利用MEMS结构共振的薄膜材料弯曲疲劳试验方法

立陶宛标准局，关于薄膜弯曲疲劳试验的标准

• LST EN 62047-12-2011 半导体器件-微机电器件-第12部分：利用MEMS结构共振的薄膜材料弯曲疲劳试验方法（IEC 62047-12:2011）

欧洲电工标准化委员会，关于薄膜弯曲疲劳试验的标准

• EN 62047-12:2011 半导体器件.微型电机装置.第12部分:用微型电机系统(MEMS)结构谐振进行薄膜材料的弯曲疲劳试验方法

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